文章詳情
揭秘半導(dǎo)體領(lǐng)域是如何防靜電的
日期：2025-09-01 08:57
瀏覽次數(shù)：25
摘要：揭秘半導(dǎo)體領(lǐng)域是如何防靜電的？?在半導(dǎo)體制造的整個(gè)流程里，靜電帶來(lái)的三大問(wèn)題尤為突出，分別是微粒污染、靜電放電造成的器件損壞
揭秘半導(dǎo)體領(lǐng)域是如何防靜電的？在半導(dǎo)體制造的整個(gè)流程里，靜電帶來(lái)的三大問(wèn)題尤為突出，分別是微粒污染、靜電放電造成的器件損壞，以及由此引發(fā)的設(shè)備停機(jī)。所以，對(duì)靜電進(jìn)行有效控制勢(shì)在必行。國(guó)際半導(dǎo)體發(fā)展路線圖和 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)都提出了建議，要將靜電控制在合適的水平。靜電控制方案包含接地、使用靜電耗散材料以及空氣電離化等方式。為了適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)快速發(fā)展的需求，靜電耗散材料和空氣離子器也在不斷更新迭代。 在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)車(chē)間，芯片一旦吸附灰塵，超大規(guī)模集成電路的產(chǎn)量就會(huì)大幅下降。雖然車(chē)間操作人員會(huì)穿著潔凈的工作服，但如果人體帶有靜電，就很容易吸附灰塵和污垢。這些灰塵和污垢被帶到操作現(xiàn)場(chǎng)后，會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量，導(dǎo)致產(chǎn)品性能變差，成品率大幅降低。要是吸附的灰塵顆粒半徑大于線路寬度，且薄膜厚度較薄，產(chǎn)品就極有可能報(bào)廢。 因此，在加工、生產(chǎn)和包裝過(guò)程中，建立靜電保護(hù)系統(tǒng)是很有必要的。集成電路封裝生產(chǎn)線對(duì)靜電的要求更為嚴(yán)格。為了保證生產(chǎn)線正常運(yùn)行，潔凈車(chē)間應(yīng)全部采用防靜電建筑材料進(jìn)行裝修，所有進(jìn)出潔凈車(chē)間的人員都要配備防靜電服裝等硬件防護(hù)措施。此外，包裝企業(yè)可以依據(jù)相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，并結(jié)合自身實(shí)際情況，制定企業(yè)內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)或具體的防靜電要求，以配合包裝生產(chǎn)線的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。 由于除塵防靜電設(shè)備種類(lèi)繁多，選擇適合自身的產(chǎn)品主要取決于生產(chǎn)線的實(shí)際條件。以下介紹幾種兼具除塵和防靜電功能的裝置：
離子風(fēng)機(jī)：主要作用是消除靜電，具有出色的防靜電性能，能防止靜電污染和破壞。適用于電子生產(chǎn)線，可避免靜電放電（ESD）現(xiàn)象，也是維修臺(tái)等個(gè)人型靜電防護(hù)區(qū)域（EPA）的理想設(shè)備。它專(zhuān)為局部區(qū)域設(shè)計(jì)，具有體積小、重量輕、安裝方便等特點(diǎn)。
-
離子風(fēng)棒：長(zhǎng)度僅 180mm，卻能實(shí)現(xiàn) 600-800mm 范圍的靜電消除，適用于狹小空間對(duì)快速除靜電的需求。
-
防靜電工作服：這是專(zhuān)為減少靜電危害而設(shè)計(jì)的防護(hù)服裝，采用導(dǎo)電纖維與滌綸混紡制成。它能將人體產(chǎn)生的靜電通過(guò)導(dǎo)電材質(zhì)快速釋放，避免靜電積累引發(fā)火花或吸附灰塵。
其優(yōu)點(diǎn)十分明顯：一是高效防靜電，能有效降低靜電放電對(duì)電子元件、半導(dǎo)體芯片等敏感產(chǎn)品的損害風(fēng)險(xiǎn)，保障生產(chǎn)質(zhì)量；二是防塵性好，面料致密且不易產(chǎn)生纖維脫落，可減少人體攜帶的灰塵進(jìn)入潔凈車(chē)間，適合電子、醫(yī)藥等對(duì)環(huán)境潔凈度要求高的場(chǎng)景；三是穿著舒適，多數(shù)采用透氣面料，在具備防護(hù)性能的同時(shí)，也方便人體活動(dòng)，適合長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)；四是通用性強(qiáng)，可根據(jù)不同行業(yè)的需求設(shè)計(jì)成連體服、分體服等樣式，滿足車(chē)間操作、實(shí)驗(yàn)室工作等多種場(chǎng)景的防護(hù)需求。
